[发明专利]多晶硅料复投方法有效

专利信息
申请号: 201410012263.4 申请日: 2014-01-10
公开(公告)号: CN103757691A 公开(公告)日: 2014-04-30
发明(设计)人: 乔松;尹东坡;司佳勇;郭凯 申请(专利权)人: 英利集团有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;张永明
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种多晶硅料复投方法。该多晶硅料复投方法包括:步骤S1:在拉制单晶硅棒的坩埚内的熔硅表面结晶形成托盘;步骤S2:向坩埚内投放多晶硅料,并使多晶硅料位于托盘上;步骤S3:在投放的多晶硅料达到预定量之后,保持预定时间,然后将托盘和托盘上的多晶硅料完全熔化在坩埚内以拉制单晶硅棒。根据本发明,能够将多晶硅料携带的气体蒸发掉,防止气体在多晶硅料熔化过程中膨胀而使得熔硅飞溅,从而避免熔硅飞溅对拉制单晶硅棒的装置造成损害,降低了企业的生产成本。
搜索关键词: 多晶 硅料复投 方法
【主权项】:
一种多晶硅料复投方法,其特征在于,包括:步骤S1:在拉制单晶硅棒的坩埚(22)内的熔硅表面结晶形成托盘(19);步骤S2:向所述坩埚(22)内投放多晶硅料(11),并使所述多晶硅料(11)位于所述托盘(19)上;步骤S3:在投放的所述多晶硅料(11)达到预定量之后,保持预定时间,然后将所述托盘(19)和所述托盘(19)上的多晶硅料(11)完全熔化在所述坩埚(22)内以拉制单晶硅棒。
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