[发明专利]交接位置示教方法、交接位置示教装置及基板处理装置

摘要

本发明提供对现有的基板处理装置的手部也能够准确地示教基板的交接位置的交接位置示教方法、交接位置示教装置以及基板处理装置。交接位置示教装置具有示教用基板，该示教用基板具有与被基板处理装置处理的半导体晶片等基板的形状相同的形状，并且在该示教用基板的表面上形成有导电性的涂层。另外，交接位置示教装置具有基座构件，在该基座构件的上表面上形成有基准线，并且在该基座构件的表面上形成有绝缘涂层。具有沿着铅垂方向延伸的柱状形状的入口用触点构件、入口用触点构件、Y方向用触点构件、Y方向用触点构件、X方向用触点构件分别立设在该基座构件上。

主权项

一种交接位置示教方法，用于对与基板交接构件交接基板的手部示教基板的交接位置，其特征在于，包括：检测构件配置工序，将检测构件代替所述基板交接构件在设置有所述基板交接构件的设置场所配置在与所述基板交接构件相对应的位置上，在通过所述手部支撑并搬送用于代替应该与所述基板交接构件进行交接的基板的示教用基板时，所述检测构件用于检测该检测构件与该示教用基板的接触；支撑工序，通过所述手部来支撑所述示教用基板；移动工序，使支撑有所述示教用基板的手部移动；交接位置确定工序，基于在被所述手部支撑的情况下移动的所述示教用基板与所述检测构件相接触的位置，确定所述基板的交接位置并进行存储。