[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法有效
申请号: | 201380060035.8 | 申请日: | 2013-11-14 |
公开(公告)号: | CN104781730B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 冈出翔太;宫坂昌宏;村松有纪子 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;C08F20/30;C08L25/02;C08L33/14;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/033;G03F7/40;H05K3/06;H05K3/18 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;李家浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物,含有:粘合剂聚合物,其具有来自(甲基)丙烯酸的结构单元、来自苯乙烯或α‑甲基苯乙烯的结构单元和来自(甲基)丙烯酸苄酯的结构单元;光聚合性化合物,其含有第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯,前述第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯具有亚乙氧基和亚丙氧基,前述亚乙氧基的结构单元数为1~20,前述亚丙氧基的结构单元数为2~7,前述亚乙氧基和前述亚丙氧基的总结构单元数大于10;以及光聚合引发剂。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 印刷 线板 制造 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,含有:粘合剂聚合物,其具有来自(甲基)丙烯酸的结构单元、来自苯乙烯或α‑甲基苯乙烯的结构单元和来自(甲基)丙烯酸苄酯的结构单元;光聚合性化合物,其含有第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯,所述第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯具有亚乙氧基和亚丙氧基,所述亚乙氧基的结构单元数为1~20,所述亚丙氧基的结构单元数为2~7,所述亚乙氧基和所述亚丙氧基的总结构单元数大于10;以及光聚合引发剂。
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