[发明专利]从ITO靶废料回收铟-锡合金的方法、氧化铟-氧化锡粉末的制造、及ITO靶的制造方法在审
| 申请号： | 201380057963.9 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104919065A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 竹本幸一;小庄孝志;古仲充之 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B5/12;C22B25/06;C22B58/00;C22C28/00;C23C14/34;C25B1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供如下方法：在还原炉内利用还原气体对含有铟和锡的ITO靶废料进行还原，并在保持ITO中的金属成分的组成比的状态下回收作为ITO靶的原料的铟-锡合金。本发明提供如下技术：从制造ITO溅射靶时或使用ITO溅射靶后产生的含有高纯度氧化铟-锡的废料回收铟-锡合金，并且将其制成氧化铟-氧化锡粉末，然后以该氧化铟-氧化锡粉末作为原料制造ITO靶。即，将废料直接还原成合金，并在保持所得到的合金的组成的状态下用于制造ITO，由此简化制造工序中的组成的控制和调节。另外，使铟-锡的回收仅为氧化物的还原，由此使工序简化、与以往方法相比能够削减制造成本。此外，能够使副产物仅为水，因此能够抑制有害物质的处理、产生，因而能够降低对环境的负荷。 | ||
| 搜索关键词： | ito 废料 回收 合金 方法 氧化 粉末 制造 | ||
【主权项】：
一种回收铟‑锡合金的方法，其中，在还原炉内利用还原气体对ITO靶废料进行还原，并在保持ITO的金属成分的组成比的状态下回收作为ITO靶的原料的铟‑锡合金。
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