[发明专利]由耦合到谐振器上的纳米计制成的压力传感器

摘要

一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子在二次真空下限定外壳(2)；至少一个谐振器(3)，所述谐振器被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(3)悬挂，所述膜片封闭还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7、12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置的所述外壳。所述检测器装置包括至少一个第一悬挂压阻式应变计(9)，所述应变计使一个端部固定到所述横梁中的一者且使一个端部固定到所述膜片。所述谐振器和所述第一应变计经布置以形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域。

主权项

1.一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子限定处于二次真空下的外壳(2)，至少一个谐振器(3)被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(5)悬挂，所述膜片(5)封闭所述外壳，所述外壳还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7，12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置，所述检测器装置包括压阻式的至少第一应变计(9)，所述传感器的特征在于：所述第一应变计被悬挂，并具有固定到所述横梁中的一者的一个端部和固定到所述膜片的一个端部；以及所述谐振器和所述第一应变计布置成能够形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域；其中所述传感器具有单一谐振器(3)；所述横梁(4)被安排为对应地将所述谐振器(3)的成对相对的四个侧面连接到所述膜片(5.1、5.2)的两个平行的第一横梁(4.1)和两个平行的第二横梁(4.2)，所述传感器具有各自连接到所述横梁(4)中的一者的四对应变计(9.1A、9.1B、9.2A、9.2B)，所述第一横梁(4.1)基本上垂直于所述第二横梁(4.2)。