[发明专利]机电系统装置有效
| 申请号： | 201380044612.4 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104583838A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·K·陈;文兵;金天弘;约翰·H·洪 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于包含一或多个存储电容器的机电系统装置的系统、方法和设备。在一个方面中，装置包含衬底结构、经配置以相对于所述衬底结构移动的可移动元件，及至少一个开关。所述可移动元件包含形成存储电容器的第一导电层及第二导电层。所述开关经配置以控制源极与所述存储电容器之间的电荷流。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种装置，其包括：衬底结构，其具有固定电极；可移动元件，其经配置以在大体上垂直于所述衬底的方向上移动，所述可移动元件包含第一导电层及第二导电层，所述第一和第二导电层形成存储电容器；及至少一个开关，其经配置以控制源极与所述存储电容器之间的电荷流。
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