[发明专利]用于有机金属化学气相沉积反应器的平面加热器的加热组件有效
| 申请号： | 201380041878.3 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN104662197B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-彼得·马丁斯;曼弗莱德·苏利克;瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 | 申请（专利权）人： | 普兰西欧洲股份公司;威科仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;H05B3/14;H05B3/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 丁业平;金小芳 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 金属 化学 沉积 反应器 平面 加热器 加热 组件 | ||
【主权项】：
一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨，其特征在于该多孔烧结涂层(30)至少部分地冶金接合至该加热体(20)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
