[发明专利]树脂生产方法和树脂生产设备有效
| 申请号： | 201380038725.3 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104487229A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 饭田贤一;伊藤俊树;松藤奈央子;铃木达哉 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种树脂生产方法，其中使用纳米压印法在树脂生产方法中降低模具和固化性树脂之间的脱模力。该树脂生产方法包括在基板(2)上配置固化性组合物(1)的配置步骤；使模具(3)与固化性组合物(1)彼此接触的接触步骤；在将固化性组合物(1)与模具(3)保持接触的同时、通过用放射线照射固化性组合物(1)或加热固化性组合物(1)而将固化性组合物(1)固化的固化性组合物固化步骤；当将固化性组合物(1)固化时、沿基板(2)和模具(3)彼此分离的方向产生拉伸应力至模具(3)和固化性组合物(1)不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将固化性组合物(1)和模具(3)彼此脱离的脱模步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 生产 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种树脂生产方法，其用于通过在将表面上具有预定的凹凸图案的模具和放射线固化性组合物保持彼此接触的同时，将所述放射线固化性组合物固化来生产具有预定图案的树脂，其特征在于，所述方法包括：在基板上配置所述放射线固化性组合物的配置步骤；使所述模具与所述放射线固化性组合物接触的接触步骤；在将所述放射线固化性组合物与所述模具保持接触的同时，使用放射线照射所述放射线固化性组合物的放射线照射步骤；当使用所述放射线照射所述放射线固化性组合物时，沿将所述基板和所述模具彼此分离的方向产生拉伸应力至所述模具和所述放射线固化性组合物不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将所述放射线固化性组合物和所述模具彼此脱离的脱模步骤。
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