[发明专利]光学反射元件

摘要

本发明提供一种光学反射元件，具有反射镜部、一对接合部、一对振动部、多个驱动部、和固定部。接合部分别具有与反射镜部的对置的各个位置连接的第1端、和该第1端的相反侧的第2端，沿第1轴延伸。振动部分别具有与接合部的一方的第2端连接的中央部。多个驱动部分别设置在一对振动部的各自上，使反射镜部转动。在固定部连结一对振动部的各两端。定义为与接合部的第1轴正交的方向的长度的梁宽，大于一对振动部各自的梁宽。

主权项

一种光学反射元件，具备：反射镜部；一对接合部，具有在所述反射镜部的对置的位置的各自上连接的第1端、和所述第1端的相反侧的第2端，并且沿第1轴延伸；一对振动部，具有与所述接合部的一方的所述第2端连接的中央部；多个驱动部，设置在所述一对振动部的各自上，并使所述反射镜部转动；和固定部，连结所述一对振动部的各两端，定义为与所述接合部的所述第1轴正交的方向的长度的梁宽，大于所述一对振动部的各自的梁宽，所述一对振动部分别在与所述接合部连接的所述中央部和所述固定部之间具有一对梁部，所述一对梁部各自具有弯曲形状，所述一对振动部各自的所述梁宽，被定义为所述弯曲形状的外周与内周间的长度。