[发明专利]微机械的压力传感器

摘要

本发明涉及一种具有高动态的测量区域的微机械的压力传感器。该压力传感器具有两个压力敏感的、闭合的传感器薄膜，其中，两个传感器薄膜中的每一个传感器薄膜可以耦接到一自身的压力贮存器上；还具有一布置在传感器薄膜之间的止挡装置，该止挡装置具有下列元件：一锚固元件，用于将止挡装置锚固在传感器薄膜中的至少一个传感器薄膜上；至少一个将两个传感器薄膜基本上刚性连接的耦接元件；多个支撑元件，传感器薄膜中的一个传感器薄膜在定义的几何上的偏移的情况下能与支撑元件接触；以及一密封元件，用于密封止挡装置。通过两个传感器薄膜的基本上刚性的耦接，有利地取消了单个的绝对压力值的相减。

主权项

微机械的压力传感器（100；200；300；400；500），具有：‑ 两个压力敏感的、闭合的传感器薄膜（10、20），其中，所述两个传感器薄膜（10、20）中的每一个都能耦接在一自身的压力贮存器（40、50）上；以及‑ 一个布置在所述传感器薄膜（10、20）之间的止挡装置（30），其具有下列元件：‑ 一个锚固元件（31），用于将所述止挡装置（30）锚固在所述传感器薄膜（10、20）中的至少一个传感器薄膜上；‑ 至少一个将所述两个传感器薄膜（10、20）基本上刚性地连接起来的耦接元件（32）；‑ 多个支撑元件（33），所述传感器薄膜（10、20）中的一个传感器薄膜在定义的几何上的偏移的情况下能与所述支撑元件接触，其中，所述锚固元件（31）和所述支撑元件（33）借助于弹性元件（34）相互连接，其中，所述止挡装置（30）具有翻转元件（33b），所述翻转元件通过横向的翻转相互止挡。