[发明专利]涂布扩散剂组合物、涂布扩散剂组合物的制造方法、太阳能电池及太阳能电池的制造方法无效
| 申请号： | 201380019198.1 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104221134A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 大井阳介;广庭大辅;桥本敬宏;圆山洋介 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社;夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/38 | 分类号： | H01L21/38;H01L21/225;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种涂布扩散剂组合物，其能够抑制析出物的产生，与现有的不含水的PTG液相比，化学药品寿命较长，即使大量地生产PTG液，也能够长期稳定地保存，成本低。本发明的涂布扩散剂组合物含有钛酸酯、磷化合物、水及有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 组合 制造 方法 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种涂布扩散剂组合物，其含有：钛酸酯、磷化合物、水及有机溶剂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
