[发明专利]用于处理基板的扫描式喷射器组件模块

摘要

描述了一个喷射模块组件(IMA)，该喷射模块组件(IMA)沿着预定路径移动以将气体喷射到基板上并且排出过量的气体。该IMA可以用于处理因为各种原因而难于移动的基板，这些原因例如是基板的较大的尺寸和重量。IMA通过多个结构连接至一组或更多组联合臂，以提供用于喷射气体或排出过量气体的一个或更多个路径。IMA通过第一驱动机构(例如，线性马达)移动，联合臂独立地通过第二驱动机构(例如，滑轮和缆绳)操纵以减小由于联合臂的重量引起的力或力矩。使第一驱动机构和第二驱动机构的运动同步来移动IMA和联合臂。

主权项

一种处理基板的表面或在基板上沉积材料层的方法，包括：将气体经由形成在一组臂中的路径喷射到喷射模块组件中，所述一组臂至少包括第一臂和第二臂，所述第二臂的一端通过铰链可旋转地连接至所述第一臂的一端，所述第一臂的另一端可旋转地连接至所述喷射模块，且所述第二臂的另一端可旋转地连接至固定通口；将所述基板的一部分暴露于由所述喷射模块组件喷射的气体中；通过第一驱动机构移动所述喷射模块组件，以将所述基板的不同部分暴露于由所述喷射模块组件喷射的所述气体中；以及通过第二驱动机构使所述一组臂以使得所述第一臂的另一端以与所述喷射模块组件相同的速度移动的速度旋转。