[发明专利]压电陶瓷、压电元件、液体喷射头、超声马达和除尘装置

摘要

提供了一种无铅压电陶瓷，其具有增强的机械品质因数(Qm)和机械强度。这种压电陶瓷包括至少第一晶粒和第二晶粒。第一晶粒的平均等效圆直径为2μm以上和30μm以下。第一晶粒包括作为主要组分的由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，第二晶粒包括作为主要组分的由以下通式(2)表示的钙钛矿型金属氧化物(1)xBaTiO3－yCaTiO3－zCaZrO3；和(2)x'BaTiO3－y'CaTiO3－z'CaZrO3，规定，x、y、z、x'、y'和z'满足x+y+z＝1，x'+y'+z'＝1，0≤x'≤0.15，0.85≤y'≤1，0≤z'≤0.05，x＞x'，0＜y＜y'，和z＞0。

主权项

一种压电陶瓷，包括第一晶粒和第二晶粒，其中，等效圆直径是指具有与晶粒的投影面积相同的面积的正圆的直径；所述第一晶粒的平均等效圆直径为2μm以上和30μm以下，并且其中，所述第一晶粒包括作为主要组分的由以下通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物，所述第二晶粒包括作为主要组分的由以下通式(2)表示的钙钛矿型金属氧化物：(1)xBaTiO3－yCaTiO3－zCaZrO3；和(2)x'BaTiO3－y'CaTiO3－z'CaZrO3，规定，x、y、z、x'、y'和z'满足x+y+z＝1，x'+y'+z'＝1，0≤x'≤0.15，0.85≤y'≤1，0≤z'≤0.05，x＞x'，0＜y＜y'，和z＞0；以及其中当压电陶瓷被抛光时，压电陶瓷的被抛光表面中第一晶粒的面积比大于被抛光表面中第二晶粒的面积比。