[实用新型]一种新型粉体等离子体处理装置有效
申请号: | 201320850223.8 | 申请日: | 2013-12-23 |
公开(公告)号: | CN203617245U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 王红卫;沈文凯 | 申请(专利权)人: | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 孟宏伟 |
地址: | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种新型粉体等离子体处理装置,包括进料腔、反应腔、电极组件、等离子体发生器、收集腔和负压装置,反应腔顶部设置有用于反应气体通入的气体入口,反应腔上部设置有进料口,反应腔底部设置有出料口,进料腔与进料口连接,电极组件设置于反应腔外表面并且位于进料口下方,等离子体发生器与电极组件电连接,收集腔与出料口连接,负压装置分别与进料腔、反应腔连接。本实用新型粉体材料在进入反应腔的过程中有反应气体吹动,使得处理效果均匀,进料腔在进料的过程中保持反应腔的真空度,不需要停止处理即可进料,节约了时间,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种新型粉体等离子体处理装置,其特征在于,包括进料腔、反应腔、电极组件、等离子体发生器、收集腔和负压装置,所述反应腔顶部设置有用于反应气体通入的气体入口,所述反应腔上部设置有进料口,所述反应腔底部设置有出料口,所述进料腔与所述进料口连接,所述电极组件设置于所述反应腔外表面并且位于所述进料口下方,所述等离子体发生器与所述电极组件电连接,所述收集腔与所述出料口连接,所述负压装置分别与所述进料腔、所述反应腔连接。
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