[实用新型]基于MEMS的红外辐射热计有效
| 申请号： | 201320850208.3 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN203643027U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郭俊 | 申请（专利权）人： | 无锡微奇科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/22 | 分类号： | G01J5/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于MEMS的红外辐射热计，包括桥面、导热导电桥臂以及桥墩组件；桥面上布置有温敏层；导热导电桥臂有两根，分别是第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂，第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂相对布置在桥面的两侧；桥墩组件包括第一桥墩与第二桥墩，第一桥墩与第二桥墩的底部分别设置有与温敏层电连接的第一读出电路连接点与第二读出电路连接点；桥面与第一读出电路连接点或第二读出电路连接点所在平面之间的间隙大于第一桥墩或者第二桥墩的高度。本实用新型中桥墩的高度小于桥面的高度，可减小桥墩占用的面积，提高器件单元的有效面积，提高器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 红外 辐射热 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS的红外辐射热计，包括桥面(1)、导热导电桥臂以及桥墩组件；所述桥面(1)上布置有温敏层(2)；所述导热导电桥臂有两根，分别是第一导热导电桥臂(3)与第二导热导电桥臂(4)，所述第一导热导电桥臂(3)与所述第二导热导电桥臂(4)相对布置在所述桥面(1)的两侧；所述桥墩组件包括分别布置在所述第一导热导电桥臂(3)与所述第二导热导电桥臂(4)端部下方的第一桥墩(10)与第二桥墩(11)，所述第一桥墩(10)与所述第二桥墩(11)的底部分别设置有与所述温敏层(2)电连接的第一读出电路连接点(7)与第二读出电路连接点(8)；其特征是：所述桥面(1)与所述第一读出电路连接点(7)或所述第二读出电路连接点(8)所在平面之间的间隙(12)大于所述第一桥墩(10)或者所述第二桥墩(11)的高度。
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