[实用新型]用于单晶炉的外部装料机构有效
| 申请号： | 201320789220.8 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN203639598U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;曹建伟;王巍;孙明;沈兴潮 | 申请（专利权）人： | 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵，真空吸盘上设有至少两个气咀，分别连接有手动真空阀和真空表，手动真空阀通过气咀与真空泵连接，真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本实用新型能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内，不需要等待擦炉完毕，再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化，节约了装料的时间，使操作更简单、便捷，同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来必要的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 外部 装料 机构 | ||
【主权项】：
用于单晶炉的外部装料机构，包括用于装多晶硅原料的石英坩埚，其特征在于，还包括真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵，真空吸盘上设有至少两个气咀，一个气咀连接有手动真空阀，另外一个气咀连接有真空表，手动真空阀上设有气咀，手动真空阀上的气咀通过波纹管与真空泵连接，且波纹管与手动真空阀上的气咀采用快卸连接方式；真空吸盘上设置有密封圈，并通过密封圈和石英坩埚密封连接，真空泵用于将石英坩埚和真空吸盘形成的密封腔体抽成真空，真空表用于测量石英坩埚和真空吸盘形成的密封腔体内的大气压力。
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