[实用新型]一种用于直拉硅单晶炉的氩气帘装置有效
| 申请号： | 201320782705.4 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN203890490U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 戴小林;崔彬;刘大力;姜舰;李洋;吴志强;汪丽都 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于直拉硅单晶炉的氩气帘装置，该装置安装在直拉硅单晶炉的热场上方，包括环形布置的数个气嘴，该数个气嘴围绕晶体轴呈对称分布。本实用新型的氩气帘装置可以调整晶体生长速度和生长界面温度梯度以及界面形状，在一定的范围内调节硅单晶体中的缺陷分布。该装置还可以降低单晶棒中金属的含量，提高成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉硅单晶炉 氩气帘 装置 | ||
【主权项】：
一种用于直拉硅单晶炉的氩气帘装置，其特征在于，该装置安装在直拉硅单晶炉的热场上方，包括环形布置的数个气嘴，该数个气嘴围绕晶体轴呈对称分布。
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