[实用新型]可全拆式真空室内隔板有效
| 申请号： | 201320778460.8 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203668508U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱家骏 | 申请（专利权）人： | 嘉兴中科奥度新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及可全拆式真空室内隔板,包括直片内隔板、弯折内隔板、U型内隔板，所述U型内隔板两端分别依次连接弯折内隔板、直片内隔板，所述U型内隔板的外边缘设有托环，所述托环紧贴内隔板的外边缘。本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果：本实用新型在真空室内安装、维护方便，便于真空室内靶材的清洁，从而提升产品质量的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 可全拆式 真空 室内 隔板 | ||
【主权项】：
可全拆式真空室内隔板,其特征在于：包括直片内隔板、弯折内隔板、U型内隔板，所述U型内隔板两端分别依次连接弯折内隔板、直片内隔板，所述U型内隔板的外边缘设有托环，所述托环紧贴内隔板的外边缘。
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