[实用新型]两端全开启式真空室有效
| 申请号： | 201320767655.2 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203668507U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱家骏 | 申请（专利权）人： | 嘉兴中科奥度新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及两端全开启式真空室，包括腔体、法兰门板所述腔体上设有抽气孔，腔体两端均设有开口，腔体两端采用法兰门板封闭开口，腔体横截面呈圆形。本实用新型安装、维护方便，真空室内的靶材清洁方便，真空室为两端开启结构，镀膜件可从一端进出、靶材可从另一端进出，实现了流水线式加工作业，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 两端 开启 真空 | ||
【主权项】：
两端全开启式真空室,包括腔体、法兰门板所述腔体上设有抽气孔，其特征在于：腔体两端均设有开口，腔体两端采用法兰门板封闭开口，腔体横截面呈圆形。
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