[实用新型]一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置

摘要

本实用新型公开了一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置，它包括：进气装置、石英管、排废管、匀流板和石英舟，所述的石英管上固设有进气装置，石英管的底部设有排废管，排废管的上部设有匀流板，匀流板的右部设有石英舟，该装置减少了硅片片内方阻梯度，提高扩散方阻的片内均匀性，并通过改善扩散后硅片方阻的均匀性，减小印刷烧结后接触电阻的大小，从而提升电池片效率。

主权项

一种提升硅片扩散方阻均匀性的装置，其特征在于：它包括：进气装置（1）、石英管（2）、排废管（3）、匀流板（4）和石英舟（5），所述的石英管（2）上固设有进气装置（1），石英管（2）的底部设有排废管（3），排废管（3）的上部设有匀流板（4），匀流板（4）的右部设有石英舟（5）；所述的石英舟（5）由舟齿（51）、舟板（52）和舟底杆（53）组成，舟板（52）通过和舟底杆（53）上设有的舟齿（51）固设在舟底杆（53）上。