[实用新型]用于压阻式压力传感器的敏感元件

摘要

本实用新型公开一种用于压阻式压力传感器的敏感元件，包括杯形衬底、金属电极层、二氧化硅隔离层，此二氧化硅隔离层与圆形基底层相背的表面设有至少四条掺硼P型微晶硅条；第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成，金属电极层包括输入电极区、输出电极区和中间电极区，输入电极区一端连接到第一掺硼P型微晶硅条一端，输出电极区一端连接到第二掺硼P型微晶硅条一端，中间电极区两端分别连接到相邻所述第一、第二掺硼P型微晶硅条各自的另一端。本实用新型既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性；且电阻率一致性好，能够提高压力传感器的信号线性度，高的响应频率且能提高产品的成品率。

主权项

一种用于压阻式压力传感器的敏感元件，其特征在于：所述敏感元件包括由圆形基底层（1）和位于圆形基底层（1）周向的环形侧板（2）组成的杯形衬底（3）、位于圆形基底层（1）上表面的二氧化硅隔离层（4），此二氧化硅隔离层（4）与圆形基底层（1）相背的表面设有至少四条掺硼P型微晶硅条（5），一金属电极层（6）位于所述掺硼P型微晶硅条（5）与二氧化硅隔离层（4）相背的表面，此掺硼P型微晶硅条（5）之间填充有二氧化硅绝缘层（7）；所述至少四条掺硼P型微晶硅条（5）包括至少2条位于圆形基底层（1）内圈处的第一掺硼P型微晶硅条（51）和至少2条位于圆形基底层（1）外圈处的第二掺硼P型微晶硅条（52）；所述第一、第二掺硼P型微晶硅条（51、52）为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝（8）首尾连接组成，所述金属电极层（6）包括输入电极区（61）、输出电极区（62）和中间电极区（63），所述输入电极区（61）一端连接到第一掺硼P型微晶硅条（51）一端，所述输出电极区（62）一端连接到第二掺硼P型微晶硅条（52）一端，中间电极区（63）两端分别连接到相邻所述第一、第二掺硼P型微晶硅条（51、52）各自的另一端。