[实用新型]一种湿法刻蚀的切水装置

摘要

本实用新型公布了一种湿法刻蚀的切水装置，包括至少一对上下垂直安装的滚轮，所述滚轮整体外径相同，所述上下滚轮之间留有间隙，所述滚轮的两端安装有卡槽，所述上下滚轮的转动方向相反，转动速率相同，所述切水装置水平方向至少设有一个滚轮，所述水平方向的滚轮间的间距相等。本实用新型的湿法刻蚀的切水装置，相较于现有的湿法刻蚀采用的风刀切水装置而言，具有以下优点：切水滚轮不需要压缩空气，硅片无压力，大大降低了碎片及堵片的风险；硅片表面的药液受到滚轮的阻挡，从硅片表面流入下槽，不会带入后面的槽体内，实现了化学反应的隔离；柱形切水滚轮表面一定的微结构处理，或者借助外面包裹一层多孔状泡沫，保证了硅片经过时不会打滑。

主权项

一种湿法刻蚀的切水装置，其特征在于：所述切水装置包括至少一对上下垂直安装的滚轮，所述滚轮整体外径相同，所述上、下滚轮（2、5）之间留有间隙，所述滚轮的两端安装有卡槽，所述上、下滚轮（2、5）分别装有上、下传动齿轮（3、6），所述的上、下传动齿轮（3、6）转动方向相反，转动速率相同，所述切水装置水平方向至少设有一个滚轮，所述水平方向的滚轮间的间距相等。