[实用新型]一种板式PECVD装置用挂钩

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片，所述挂钩本体包括两个钩体，所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。当需要使用挂钩时，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。在本实用新型提供的挂钩中，由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接，直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可，有效地避免了在使用挂钩时，需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况，降低了工作人员的劳动强度，省去了组合挂钩的时间，提高了板式PECVD的工作效率。

主权项

一种板式PECVD装置用挂钩，包括挂钩本体和垫片(2)，所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(1)，所述连接件的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接，所述连接件上表面的宽度与所述钩体(1)上与所述连接件连接处宽度相等，所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度，其特征在于，所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接。