[实用新型]一种酸性废蚀刻液的铜回收循环系统

摘要

本实用新型包括酸性蚀刻机，与蚀刻机的蚀刻液出口管道连接且对蚀刻机的铜萃取-反萃取箱，铜萃取-反萃取箱设置有酸性废蚀刻液入口，含铜反萃取剂出口，反萃取剂入口，铜萃取剂出口，提铜废蚀刻液出口和铜萃取剂入口，铜萃取剂出口与铜萃取剂入口通过管道相连；还包括与蚀刻机的蚀刻液入口管道连接的蚀刻液组份调节的组份调配缸；还包括与上述含铜反萃取剂出口相连的电解沉积槽，电解沉积槽内包含多个小的电解槽，该小的电解槽由多个用作阳极的钛活性板和用作阴极的紫铜片并联组成；电解沉积槽整体密闭，电解沉积槽的入口和出口分别为电解槽含铜反萃取剂入口和电解槽反萃取剂出口，电解槽反萃取剂出口通过管道连接至上述反萃取剂入口。

主权项

一种酸性废蚀刻液的铜回收循环系统，包括酸性蚀刻机，其特征在于：还包括与蚀刻机的蚀刻液出口管道连接且对蚀刻机的酸性废蚀刻液进行铜萃取和反萃取的铜萃取‑反萃取箱，铜萃取‑反萃取箱设置有酸性废蚀刻液入口(51)，含铜反萃取剂出口(52)，反萃取剂入口(53)，铜萃取剂出口(54)，提铜废蚀刻液出口(55)和铜萃取剂入口(56)，铜萃取剂出口(54)与铜萃取剂入口(56)通过管道相连；该铜萃取‑反萃取箱包括由一级萃取槽和二级萃取槽组成的两级萃取机构以及由反萃取槽组成的一级反萃取机构； 还包括与蚀刻机的蚀刻液入口管道连接的蚀刻液组份调节的组份调配缸，上述提铜废蚀刻液出口(55)连接有去除装置，去除装置与组份调配缸相连接； 还包括与上述含铜反萃取剂出口(52)相连的电解沉积槽，电解沉积槽内包含多个小的电解槽，该小的电解槽由多个用作阳极的钛活性板和用作阴极的紫铜片并联组成；电解沉积槽整体密闭，电解沉积槽的入口和出口分别为电解槽含铜反萃取剂入口(61)和电解槽反萃取剂出口(62)，电解槽反萃取剂出口(62)通过管道连接至上述反萃取剂入口(53)。