[实用新型]一种挡板及磁控溅射镀膜设备

摘要

本实用新型提供了一种挡板及磁控溅射镀膜设备，所述挡板包括：基板，基板为一矩形的平面板；设置于基板上的多个遮板，多个遮板为形状和尺寸均相同的矩形的平面板，多个遮板均垂直于基板，且平行于基板一组相对的侧面，多个遮板的长度均等于多个遮板所平行于的、基板的一组相对的侧面的长度，相邻两个遮板之间的间距相等。在溅射镀膜时使玻璃基板垂直于遮板运行，基板反射的粒子、运动到挡板区域内的散射粒子和挡板的基板被溅射出来的粒子大部分由于被遮板阻挡，无法穿越挡板，因此不能沉积到玻璃基板的受光面上，从而减少了薄膜光伏组件镀背电极过程中的绕镀现象，提高了光伏组件的光电转换效率，且为激光扫边等后道工序提供了良好的基础。

主权项

一种挡板，其特征在于，包括：基板，所述基板为一矩形的平面板；设置于所述基板上的多个遮板，所述多个遮板为形状和尺寸均相同的矩形的平面板，所述多个遮板均垂直于所述基板，且平行于所述基板一组相对的侧面，所述多个遮板的长度均等于所述多个遮板所平行于的、基板的一组相对的侧面的长度，相邻两个所述遮板之间的间距相等。