[实用新型]制造功率器件的多反应腔系统

摘要

本实用新型公开一种制造功率器件的多反应腔系统，包含：第一反应腔，通过外延反应在衬底基板上形成缓冲层，衬底基板放置于托盘上；第二反应腔，通过外延反应在已形成有缓冲层的衬底基板上形成完整的氮化镓功率器件结构；装卸腔，放置已形成完整的氮化镓功率器件结构的衬底基板，或用于放置待进行外延反应的衬底基板；传输腔，分别连接第一反应腔、第二反应腔与装卸腔，传输腔中设有机械手，该机械手使衬底基板或衬底基板所在托盘在第一反应腔、第二反应腔与装卸腔之间转移。本实用新型设置多个反应腔分别进行不同工艺分步生产功率器件，有效节省了不同工艺之间切换的时间，并减少了前一工艺对后续工艺的影响，提高了生产效率和功率器件的质量。

主权项

一种制造功率器件的多反应腔系统，用于制造氮化镓功率器件，其特征在于，该多反应腔系统包含：第一反应腔（104），其用于通过外延反应在衬底基板上形成缓冲层，所述衬底基板放置于托盘上；第二反应腔（106），其用于通过外延反应在已形成有缓冲层的衬底基板上形成完整的氮化镓功率器件结构；装卸腔（108），其用于放置已形成完整的氮化镓功率器件结构的衬底基板，或用于放置待进行外延反应的衬底基板；传输腔（102），其分别连接所述的第一反应腔（104）、第二反应腔（106）与装卸腔（108），该传输腔（102）中设有机械手，该机械手用于实现衬底基板或衬底基板所在托盘在所述第一反应腔（104）、第二反应腔（106）与装卸腔（108）之间转移。