[实用新型]固晶机用多焊臂装置有效
| 申请号： | 201320683041.6 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN203536379U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 区大公 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒睿智达科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种固晶机用多焊臂装置，该固晶机用多焊臂装置包括设有旋转电机的机架，在该旋转电机的转轴上设有焊臂连接座，该焊臂连接座四周分别设有焊臂，每个焊臂上设有一个使吸嘴支架上下滑动气缸，该吸嘴支架设有与气源连接的晶圆吸嘴，其中所述旋转电机和滑动气缸分别与控制模块控制连接。工作时，旋转电机带动焊臂本体转动，再通过调节吸嘴支架与焊臂之间的位置，使晶圆吸嘴准确拾起晶圆。由于焊臂连接座四周均匀分部有四个晶圆吸嘴的焊臂本体。当一个晶圆吸嘴拾起晶圆后只需要转动90度，第二个晶圆吸嘴拾起第二个晶圆进行后续的工艺处理。由于其转动角度小，可以提高焊臂转动的时间，减少晶圆固晶封装的平均时间，提高半导体的封装效率。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶机用多焊臂 装置 | ||
【主权项】：
固晶机用多焊臂装置，包括设有旋转电机的机架，其特征在于：在该旋转电机的转轴上设有焊臂连接座，该焊臂连接座四周分别设有焊臂，每个焊臂包括焊臂本体，在该焊臂本体上设有一个使吸嘴支架上下滑动气缸，该吸嘴支架设有与气源连接的晶圆吸嘴，其中所述旋转电机和滑动气缸分别与控制模块控制连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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