[实用新型]气体供应装置有效
申请号: | 201320672685.5 | 申请日: | 2013-10-29 |
公开(公告)号: | CN203533217U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 张文武;张祯;刁春华;周鹏;杨洪;廖伟杰 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F17D5/02 | 分类号: | F17D5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种气体供应装置,用于向需求设备提供气体,包括:供应设备,连接供应设备和需求设备的供气管路,设置在供气管路上的气动阀,与气动阀通过第二驱动气管相连的电磁阀组,与电磁阀组相连的第一驱动气管,与电磁阀组信号相连的控制单元以及设置在第一驱动气管上并与控制单元信号连接的感应器;传感器能够监测到第一驱动气管内有无流量变化,由于驱动气体驱动打开气动阀只需1~2秒,若第一驱动气管内长时间有流量,则说明第一驱动气管、电磁阀组或者第二驱动气管出现了漏气,因此本实用新型提出的气体供应装置能够监测是否存在漏气的现象,便于确保气体供应装置是否正常工作。 | ||
搜索关键词: | 气体 供应 装置 | ||
【主权项】:
一种气体供应装置,用于向需求设备提供气体,其特征在于,包括:供应设备、气动阀、电磁阀组、供气管路、第一驱动气管、第二驱动气管、控制单元以及感应器;其中,所述供应设备和需求设备通过供气管路相连,所述气动阀设置于所述供气管路上,所述第二驱动气管连接所述电磁阀组和气动阀,所述控制单元与所述电磁阀组信号连接,所述第一驱动气管与所述电磁阀组相连,所述感应器设置于所述第一驱动气管上,所述感应器与所述控制单元信号连接。
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