[实用新型]具防呆机构的晶舟抽片移转治具有效
| 申请号： | 201320624955.5 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN203607380U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘方军 | 申请（专利权）人： | 京隆科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是有关于一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具，包括有:一承置台、一滑设于承置台的滑杆、一固设于滑杆上的立杆及一固设于立杆上的推杆，防呆机构包括有:二压柱、四挡块、一第一连杆及一第二连杆。二压柱穿设于承置台上，包括有一第一压柱及一第二压柱;四挡块设置于承置台下方，包括有一第一挡块、一第二挡块、一第三挡块及一第四挡块;第一连杆，分别连接第二压柱及第二挡块与第三挡块;第二连杆则分别连接第一压柱及第一挡块与第四挡块。由此，可避免因置放于承置台上的二个晶舟未确实定位时，移动晶圆所可能造成晶圆碰撞或刮伤。 | ||
| 搜索关键词： | 具防呆 机构 晶舟抽片 移转 | ||
【主权项】：
一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具，该晶舟抽片移转治具包括有：一承置台、一滑设于该承置台的滑杆、一固设于该滑杆上的立杆及一固设于该立杆上的推杆，其特征在于，该防呆机构包括有： 二压柱，穿设于该承置台，包括有一第一压柱及一第二压柱； 四挡块，设置于该承置台下方，包括有一第一挡块、一第二挡块、一第三挡块及一第四挡块； 一第一连杆，分别与该第二压柱、该第二挡块及该第三挡块相连；以及 一第二连杆，分别与该第一压柱、该第一挡块及该第四挡块相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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