[实用新型]防止气管堵塞的装置有效

专利信息
申请号: 201320588430.0 申请日: 2013-09-23
公开(公告)号: CN203474891U 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 徐磊;张恒;姜志磊;李志超;傅晓斌 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提出一种防止气管堵塞的装置,包括:反应腔室,与反应腔室侧壁相连的第一气管,与反应腔室底部相连的排气管路,与排气管路侧壁相连的第二气管,与排气管路相固定的隔离装置;在排气管路上安装隔离装置,当第二气管中的气体需要排出时,隔离装置无需动作,第二气管中的气体能够通过排气管路排出,当反应腔室中的气体需要排出时,隔离装置动作,将第二气管与排气管路隔离开,防止反应腔室中的气体进入第二气管中并与第二气管中残留的气体发生反应,避免在第二气管中形成粉末堵塞第二气管。
搜索关键词: 防止 气管 堵塞 装置
【主权项】:
一种防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述装置包括:反应腔室、第一气管、第二气管、隔离装置和排气管路,其中,所述第一气管与所述反应腔室的侧壁相连,所述第二气管与所述排气管路的侧壁相连,所述排气管路与所述反应腔室底部相连,所述隔离装置与所述排气管路相固定。
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