[实用新型]一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置有效
| 申请号： | 201320583961.0 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN203465187U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吕立平;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 361006 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，解决了现有透光载物台观察到被测物缺陷后不能准确定位等问题。一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单元格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同；所述定位环的圆心与所述定位网格的中心相重合；所述定位环内切于所述定位网格的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 显微 观察 透光 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种碳化硅晶片显微观察用透光定位装置，其特征在于：包括定位膜，所述定位膜为透光的方形膜，所述定位膜上设有定位环和定位网格；所述定位网格由紧密相连的单元格组成，所述单元格为正方形，横向所述单元格按数字顺序由左到右依次编号，纵向所述单元格按英文字母顺序从下至上依次编号，且所述单元格的延伸方向与所述定位膜边长方向相同；所述定位环的圆心与所述定位网格的中心相重合；所述定位环内切于所述定位网格的边缘。
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