[实用新型]一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构有效
| 申请号： | 201320577197.6 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN203534191U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 樊志滨;陈依新;王勇飞 | 申请（专利权）人： | 北京思捷爱普半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 101312 北京市顺义区天竺综*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构属于半导体外延生长设备领域。它包括升降气缸、安装在机罩内部的伺服电机、蜗轮蜗杆减速机，安装在机罩外部的磁流体，旋转轴通过联轴器与炉盖相连接。本技术方案中，升降气缸安装在炉体旁，气缸活塞杆上端连接机罩，通过气缸活塞杆的升降，对机罩、伺服电机、蜗轮蜗杆减速机连同炉盖进行同时升降，并在伺服电机带动下，通过蜗轮蜗杆减速机，将炉盖进行翻转。此设计使炉盖能上下升降，并绕其纵向轴做翻转，解决了因炉盖不能翻转，衬底片倒置在炉盖上的反应炉取片、放片工作不方便、衬底易掉落损害的问题；同样，此设计解决石英板更换产生的风险，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应炉 进行 升降 翻转 机构 | ||
【主权项】：
一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构，包括升降气缸（1）、安装在机罩（2）内部的伺服电机（3）、蜗轮蜗杆减速机（4），旋转轴（6）通过联轴器（7）与炉盖（8）相连接；所述的升降气缸（1）安装在炉体（9）一侧，气缸活塞杆上端连接机罩（2），安装在机罩（2）内部的伺服电机（3）带动蜗轮蜗杆减速机（4），蜗轮蜗杆减速机（4）的旋转轴（6）通过联轴器（7）与炉盖（8）相连接；炉体（9）的两侧结构为对称布置结构；通过气缸活塞杆的升降，机罩（2）、伺服电机（3）、蜗轮蜗杆减速机（4）连同炉盖（8）进行同时升降，并在伺服电机（3）带动下，通过蜗轮蜗杆减速机（4），将炉盖（8）进行翻转。
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