[实用新型]硅片清洗机用水点水质监控报警装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置，包括清洗机的机壳，进水管贯穿机壳的顶部进入机体内部供水，所述进水管的侧壁上设有一个旁通凸台，电阻率测试仪的探针插入所述旁通凸台内固定，所述电阻率测试仪的显示面板固定在机壳的侧壁上。本实用新型在清洗机的用水点对水质进行实时监控，到达用水点的水质若不符合用水标准，报警器会发出声光报警，提醒操作人员更换清洗用水，以防不合标准的清洗用水污染硅片，监控准确确保清洗用水达标，提高了日常生产的效率，大大降低清洗的废品率。

主权项

 硅片清洗机用水点水质监控报警装置，包括清洗机的机壳（1），进水管（2）贯穿机壳（1）的顶部进入机体内部供水，其特征在于：所述进水管（2）的侧壁上设有一个旁通凸台（3），电阻率测试仪的探针（4）插入所述旁通凸台（3）内固定，所述电阻率测试仪的显示面板（41）固定在机壳（1）的侧壁上。