[实用新型]多参量硅压阻差压传感器一体化基座有效
申请号: | 201320568527.5 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN203489898U | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 王维东;王维娟;谢成功 | 申请(专利权)人: | 蚌埠市创业电子有限责任公司 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 杨晋弘 |
地址: | 233010 安徽省蚌*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开多参量硅压阻差压传感器一体化基座,包括壳体(1),壳体(1)沿轴向的圆周设有一组贯穿壳体的引线脚(7),壳体(1)的顶部沿轴向分别设有充油孔(2)与芯片安装孔(3),充油孔(2)内沿轴向设有正压腔充油管(5),芯片安装孔(3)内沿轴向设有负压腔充油管(6);壳体(1)沿径向设有贯通壳体的导油孔(4),导油孔(4)与芯片安装孔(3)相连通;充油孔(2)与正压腔充油管(5)形成正压力传导腔;导油孔(4)、芯片安装孔(3)与负压腔充油管(6)形成了负压力传导腔,使固定在芯片安装孔(3)上方的硅压阻传感器芯片感应到压力差,从而测量出多参量的信号,且该基座壳体(1)采用一体化成型,密封性好,整体性能高。 | ||
搜索关键词: | 参量 硅压阻差压 传感器 一体化 基座 | ||
【主权项】:
多参量硅压阻差压传感器一体化基座,包括壳体(1),壳体(1)沿轴向的圆周设有一组贯穿壳体(1)的引线脚(7),其特征在于,所述壳体(1)的顶部沿轴向分别设有充油孔(2)与芯片安装孔(3);所述充油孔(2)内沿轴向设有正压腔充油管(5),芯片安装孔(3)内沿轴向设有负压腔充油管(6);所述壳体(1)沿径向设有贯通壳体(1)的导油孔(4),导油孔(4)与芯片安装孔(3)相连通。
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