[实用新型]X射线检测装置阵列基板

摘要

本实用新型实施例公开了一种X射线检测装置阵列基板，包括薄膜晶体管和与薄膜晶体管相连的光电二极管传感器件。薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层和源极、漏极，其中薄膜晶体管的有源层上下设置有二次电子发射层，形成微通道结构，使有源层获得了较高的载流子迁移率，从而提高了薄膜晶体管的性能，提升了X射线检测装置的灵敏度。另外，本实用新型实施例公开的X射线检测装置阵列基板采用柔性衬底，使X射线检测装置具有轻薄、安装简便、功耗低、携带方便、经久耐用等优点。

主权项

一种X射线检测装置阵列基板，包括薄膜晶体管和与薄膜晶体管相连的光电二极管，所述薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层和源极、漏极,其特征在于，所述有源层之下设置有第一二次电子发射层，所述有源层之上设置有第二二次电子发射层。