[实用新型]固晶机自动出入料装置有效
申请号: | 201320550294.6 | 申请日: | 2013-09-04 |
公开(公告)号: | CN203491233U | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种固晶机自动出入料装置,包括出入料平台、料盒总成、固晶工作盒;出入料平台设于料盒总成和固晶工作盒之间,出入料平台包括多条轨道,轨道内设有推爪;料盒总成包括多个料盒和料盒升降机,料盒安装在料盒升降机上,料盒的开口对应出入料平台的轨道,料盒的数量与轨道的数量相同;固晶工作盒包括支架固定装置和工作台,支架固定装置包括运送带和固晶升降平台,固晶升降平台上方设有面板,工作台可沿X轴和Y轴移动,支架固定装置安装在工作台上。本实用新型的有益效果是:使固晶操作从支架进入固晶工作盒到支架固晶完毕后通过出入料平台送入料盒的整个过程都实现自动运作,显著提高工作效率,且相比人工操作更为稳定可靠。 | ||
搜索关键词: | 固晶机 自动 出入 装置 | ||
【主权项】:
一种固晶机自动出入料装置,其特征在于,包括出入料平台、料盒总成、固晶工作盒,所述出入料平台设于料盒总成和固晶工作盒之间;所述出入料平台上包括多条平行布置的用于放入支架的轨道,所述轨道的两端分别通向料盒总成和固晶工作盒,该轨道内设有可垂直于轨道上下移动和沿轨道方向移动的推爪;所述料盒总成包括多个平行布置的料盒和料盒升降机,所述料盒安装在料盒升降机上可随升降机上下移动,料盒的开口对应所述出入料平台的轨道,料盒的数量与所述轨道的数量相同;所述固晶工作盒包括支架固定装置和工作台,所述支架固定装置包括与所述出入料平台的轨道对接的运送带和与所述运送带对接的固晶升降平台,所述固晶升降平台上方设有用于与其配合固定进入的支架的面板,所述工作台可沿X轴和Y轴移动,支架固定装置安装在工作台上并可随其进行固晶移动和与出入料平台任意轨道对接的移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造