[实用新型]真空镀膜机初阀连接结构有效
| 申请号： | 201320531980.9 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203442272U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李龙哲;王洪彬;沈聚丰;朱小凤;夏伟 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | F16K27/00 | 分类号： | F16K27/00;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200540 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。本实用新型的有益效果：把初阀设置在真空室腔体上方，设备工作时的气体不会经过主阀腔体抽出，而是直接在真空室腔体上端抽出，减少对主阀腔体的污染，也减轻对主阀气缸活塞杆的污染，提高密封圈使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机初阀 连接 结构 | ||
【主权项】：
真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。
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