[实用新型]一种自动补液系统有效
申请号: | 201320514984.6 | 申请日: | 2013-08-22 |
公开(公告)号: | CN203456490U | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 夏展;左国军 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B08B13/00;B08B3/08;C23F1/08 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
地址: | 213125 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动补液系统,包括一反应槽和依次连接的进液管、补液桶、补液管;进、补液管上分别设置有进、补液控制阀,进、补液控制阀与控制系统连接,所述的自动补液系统还包括一设置在补液桶内的超声波液位仪,其一端从补液桶中伸出并与控制系统连接;所述的补液控制阀包括一对相并联的精补阀和粗补阀。本实用新型通过超声波液位仪和精、粗补阀配合对反应槽进行补液,极大提高了补液精度,保证了实际补液量与工艺配方的一致性,降低了外在因素的影响,提高了系统的稳定性,同时其结构简单,安装维护方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 补液 系统 | ||
【主权项】:
一种自动补液系统,包括一反应槽和依次连接的进液管、补液桶、补液管;进、补液管上分别设置有进、补液控制阀,进、补液控制阀与控制系统连接,其特征在于:所述的自动补液系统还包括一设置在补液桶内的超声波液位仪,其一端从补液桶中伸出并与控制系统连接;所述的补液控制阀包括一对相并联的精补阀和粗补阀。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的