[实用新型]化学气相沉积炉

摘要

本实用新型提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此，能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位；出装料安全、可靠，操作方便；炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。

主权项

一种化学气相沉积炉，包括： 炉体（1）； 上炉盖（2），设置在炉体（1）上部，与炉体（1）密封且可拆装式固定连接；以及 下炉盖（3），设置在炉体（1）下部，与炉体（1）密封可拆装式固定连接； 其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括： 下炉盖升降机构（5），与下炉盖（3）固定连接，以使下炉盖（3）在脱开固定的炉体（1）后带动下炉盖（3）降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖（3）上升以与炉体（1）结合。