[实用新型]玻璃镀膜生产系统有效
| 申请号： | 201320411613.5 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN203419978U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陆仁立 | 申请（专利权）人： | 重庆春江镀膜玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/52;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 401520 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃镀膜生产技术领域，公开一种玻璃镀膜生产系统，可提高镀膜玻璃的生产质量，包括依次设置的上片机、清洗机、风干室、磁控阴极溅射镀膜工艺室和卸片机，所述上片机、清洗机、风干室、磁控阴极溅射镀膜工艺室和卸片机之间通过玻璃输送锟道连接，还包括纯水系统，所述纯水系统的纯水输出端与清洗机的入水口连通；所述磁控阴极溅射镀膜工艺室包括依次连通的入口气锁室、入口真空缓冲腔室、磁控阴极溅射镀膜真空腔室、出口真空缓冲腔室和出口气锁室，所述入口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室，磁控阴极溅射镀膜真空腔室包括至少16个溅射单元腔室，所述出口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 镀膜 生产 系统 | ||
【主权项】：
玻璃镀膜生产系统，其特征在于：包括依次设置的上片机、清洗机、风干室、磁控阴极溅射镀膜工艺室和卸片机，所述上片机、清洗机、风干室、磁控阴极溅射镀膜工艺室和卸片机之间通过玻璃输送锟道连接，还包括纯水系统，所述纯水系统的纯水输出端与清洗机的入水口连通；所述磁控阴极溅射镀膜工艺室包括依次连通的入口气锁室、入口真空缓冲腔室、磁控阴极溅射镀膜真空腔室、出口真空缓冲腔室和出口气锁室，所述入口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室，磁控阴极溅射镀膜真空腔室包括至少16个溅射单元腔室，所述出口真空缓冲腔室包括至少4个缓冲单元腔室。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆春江镀膜玻璃有限公司，未经重庆春江镀膜玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320411613.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种棉浆粕生产用开棉二次除渣设备
- 下一篇：一种低熔点金属液回收装置
- 同类专利
- 专利分类
