[实用新型]控温模块以及控温装置有效
| 申请号： | 201320403888.4 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN203350742U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何崇敏;杨旭敏;杨志平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G05B19/048 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种控温模块以及控温装置，所述控温装置包括：控温模块和加热单元，控温模块与加热单元相连，所述控温模块内部设有冷却模块和报警模块，冷却模块设有风扇；在控温模块中添加报警模块，用于监测冷却模块中风扇的转速是否正常，从而避免技术人员手动检查导致的成功率不高和防止意外的发生，进而能够增加控温装置的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种控温模块，其特征在于，所述控温模块包括：冷却模块和报警模块，所述冷却模块设有风扇。
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