[实用新型]抛光机磁铁整定铁环结构

摘要

本实用新型为一种抛光机磁铁整定铁环结构，配合一抛光装置使用，且该抛光装置悬吊设置具有垂直位移自由度的一吸附装置，该吸附装置间隔一胶膜吸附一晶圆，且该胶膜固定于一铁环上，该抛光机磁铁整定铁环结构包含两个整定气缸与两个磁铁，其中，该两个整定气缸分别具有固定于该抛光装置上的一移动部与连接固定该吸附装置的一固定部，且该移动部具有分别固定该两个磁铁的两个磁铁移动部，以使该两个磁铁分别紧邻该吸附装置不同侧的边缘，并且该吸附装置具有一铁环吸附位置与一铁环脱离位置。本实用新型通过该两个磁铁辅助定位该铁环，即可以利用机械手臂来移载该铁环，也即可以形成自动化的流程，以节省人力成本，满足使用上的需要。

主权项

一种抛光机磁铁整定铁环结构，配合一抛光装置使用，且所述抛光装置悬吊设置具有垂直位移自由度的一吸附装置，所述吸附装置间隔一胶膜地吸附一晶圆，且所述胶膜固定于一铁环上，其特征在于，所述抛光机磁铁整定铁环结构包含：两个磁铁；以及两个整定气缸，所述两个整定气缸分别具有固定于所述抛光装置上的一移动部与连接固定所述吸附装置的一固定部，且所述移动部具有分别固定所述两个磁铁的两个磁铁移动部，以使所述两个磁铁分别紧邻所述吸附装置的不同侧的边缘，并且所述移动部与所述固定部的相对移动而推移所述吸附装置进行位移，而所述吸附装置具有一铁环吸附位置与一铁环脱离位置，且在所述铁环吸附位置时，所述两个磁铁凸出于所述吸附装置的表面，而在所述铁环脱离位置时，则所述两个磁铁未凸出于所述吸附装置的表面。