[实用新型]单晶炉炉压检测报警补偿系统

摘要

实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉炉压检测报警补偿系统，包括设置在炉体内对炉体内炉压进行检测的检测器，以及能够接收检测器检测结果的控制器，控制器连接一报警器，还包括对炉体内炉压进行自动补偿的补偿装置。检测器实时对炉压进行检测并将检测的结果即时发送给控制器，一旦检测到炉压高于或低于设定的范围内时，控制器便会向报警器发出信号使报警器报警，同时控制器操作控制阀打开以及启动补偿器进行补压，在炉压达到设定的范围内时，控制器便会关闭控制阀并停止补偿器的工作。本实用新型能够实时对炉压进行检测，并能够对炉压进行补偿，从而保证炉压能够满足单晶炉工作的需求。

主权项

单晶炉炉压检测报警补偿系统，其特征在于：其包括设置在炉体内对炉体内炉压进行检测的检测器，以及能够接收检测器检测结果的控制器，所述控制器连接一报警器，还包括对炉体内炉压进行自动补偿的补偿装置；所述补偿装置包括连通炉体内的补偿管道，以及与补偿管道连接的炉压补偿器，在管道上设置有电磁控制阀，所述电磁控制阀与控制器连接。