[实用新型]一种干刻设备的下部电极和干刻设备

摘要

本实用新型公开了一种干刻设备的下部电极和干刻设备，其中干刻设备的下部电极包括：电极铝材层、位于电极铝材层上的氧化铝陶瓷层、以及位于氧化铝陶瓷层上的多个压纹点，电极铝材层内具有容纳冷媒的冷媒管道，氧化铝陶瓷层与多个压纹点之间设有电阻丝。在干法刻蚀过程中，需要控制干刻设备的下部电极在一定温度下工作，本实用新型提供的干刻设备的下部电极，在使用过程中，当干刻设备的下部电极温度过低时，通过控制通入电阻丝中的电流的大小，来控制电阻丝产生的热量，进而提高干刻设备的下部电极的温度。所以，本实用新型提供的干刻设备的下部电极，便于精确控制温度。

主权项

一种干刻设备的下部电极，包括：电极铝材层、位于所述电极铝材层上的氧化铝陶瓷层、以及位于所述氧化铝陶瓷层上的多个压纹点，所述电极铝材层内具有容纳冷媒的冷媒管道，其特征在于，所述氧化铝陶瓷层与所述多个压纹点之间设有电阻丝。