[实用新型]液体槽装置有效
| 申请号： | 201320372528.2 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203345513U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何*;杨小军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/50 | 分类号： | B65D90/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种液体槽装置，包括液体槽、供液管、进液管、第一监测管、第一溢出液位监测器以及干燥装置，供液管与液体槽底部相连，进液管伸入液体槽内部，第一监测管的两端分别与液体槽的上部和底部连通，第一溢出液位监测器设置在第一监测管上，干燥装置设置在第一监测管上；在第一监测管上靠近第一溢出液位监测器的位置设置一干燥装置，用于去除聚积在第一溢出监测器附近的液体，从而增加液位溢出报警的可靠性，避免假报警的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 装置 | ||
【主权项】：
一种液体槽装置，其特征在于，所述装置包括：液体槽、供液管、进液管、第一监测管、第一溢出液位监测器以及干燥装置，其中，所述供液管与所述液体槽底部相连，所述进液管伸入所述液体槽内部，所述第一监测管的两端分别与所述液体槽的上部和底部连通，所述第一溢出液位监测器设置在所述第一监测管上，所述干燥装置设置在所述第一监测管上。
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