[实用新型]一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜有效
| 申请号： | 201320360191.3 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN203385879U | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 于天燕;秦杨;刘定权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;B32B9/04 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜，该分光膜的工作角度为0—30°，镀制在ZnSe基底上，以Ge和ZnSe为高低折射率材料，采用高低折射率交替的膜系设计方法获得折射率的匹配。大角度入射红外宽光谱分光膜在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该分光膜在入射角为0—30°时，能够实现均衡分光。本实用新型分光膜性能稳定，适合于干涉式大气探测技术中干涉系统的宽光谱分光使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 znse 红外 光谱 分光 | ||
【主权项】：
一种ZnSe基片的红外宽光谱分光膜，它在ZnSe基底（2）上制备宽光谱红外分光膜（1），从而实现入射角为0—30°时在4—14.5μm宽光谱范围内均衡的能量分光，其特征在于：所述的宽光谱红外分光膜（1）的膜系结构为：基底/0.836L0.6H1.5L0.84H1.2L0.675H1.09L0.444H1.964L0.198H1.482L0.763H0.586L0.892H0.989L/空气式中：L表示光学厚度为λ0/4的硒化锌膜层；H表示光学厚度为λ0/4的锗膜层；λ0为中心波长；H、L前的数字为λ0/4光学厚度的比例系数乘数。
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