[实用新型]一种角度判断装置

摘要

本实用新型公开了一种角度判断装置。包括壳体；分别对应壳体与待测倒角两侧边的第一传感器和第二传感器，第一传感器和第二传感器固定于壳体；壳体与基板对应之后采集待测倒角信息的判断单元，判断单元固定于壳体，上述角度判断装置在使用时，首先将基板固定好，例如固定于某一支撑平台上，并且支撑平台的面积小于基板面积，以留出一定的测试间隙；移动角度判断装置，当第一传感器和第二传感器同时能够感应到待测倒角的两侧边时，即对应成功，角度判断装置停止移动；判断单元采集待测倒角信息，并判断这个倒角是否为特殊倒角。所以，上述角度判断装置，减少了曝光图案印刷错误对基板造成的损伤，避免对基板进行重新加工，提高了生产效率。

主权项

一种角度判断装置，其特征在于，包括： 壳体； 分别对应所述壳体与基板的待测倒角两侧边位置的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器固定于所述壳体； 所述壳体与所述基板对应之后采集所述待测倒角信息的判断单元，所述判断单元固定于所述壳体。