[实用新型]多晶硅生产装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产装置，包括底盘和钟罩，底盘和钟罩都为双层结构，钟罩内设有圆柱状的环形基座，环形基座下端与底盘之间的腔体为进气腔，环形基座与钟罩上端之间的腔体为出气腔，环形基座中心设有贯穿顶面和底面的圆柱腔，所述的环形基座的圆周上还均匀设有贯穿顶面和底面的硅棒生长腔，底盘上设有电极固定座，电极固定座上设有电极，电极上固定有硅芯，相邻的两根硅芯的上端连接有导电硅芯，圆柱腔内自上而下分别设有冷却器、过滤器；硅棒生长腔内的硅芯上套设有冷却套。因此，本实用新型具有快速调节还原炉内的反应温度，把反应温度稳定的控制在最佳范围，减少副反应的发生，从而提高硅棒纯度的有益效果。

主权项

一种多晶硅生产装置，包括底盘（1）和钟罩（2），所述的底盘和钟罩都为双层结构，底盘和钟罩上分别设有冷却液进口（3）和冷却液出口（4），其特征是，所述的钟罩内设有圆柱状的环形基座（5），环形基座下端与底盘之间的腔体为进气腔（6），环形基座与钟罩上端之间的腔体为出气腔（7），所述的环形基座的外壁与钟罩的内壁贴合，环形基座中心设有贯穿顶面和底面的圆柱腔（8），所述的环形基座的圆周上还均匀设有贯穿顶面和底面的硅棒生长腔（9），底盘上设有电极固定座（10），电极固定座上设有电极（11），电极上固定有硅芯（12），每根硅芯都伸入硅棒生长腔内，相邻的两根硅芯的上端连接有导电硅芯（13），所述的圆柱腔内自上而下分别设有冷却器（14）、过滤器（15），底盘上设有进气管（16）和出气管（17），进气管上端与进气腔连通，出气管的上端与过滤器连接。