[实用新型]光罩传送盒有效
申请号: | 201320341944.6 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN203403037U | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 陈明生 | 申请(专利权)人: | 陈明生 |
主分类号: | C08L61/16 | 分类号: | C08L61/16;C08K7/00;C08K3/04;H01L21/673 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张秋越 |
地址: | 中国台湾西区向*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光罩传送盒,其至少包含有一由塑胶主体材料制成的底座及一由塑胶主体材料制成的壳罩,且壳罩与底座可相对盖合形成一容置光罩的存放空间,而底座上设有一供承托光罩的支撑组,而壳罩内设有一供限制导正光罩的导压组,借此,由于本实用新型的可大幅提高其硬度及抗静电效果,使其耐磨性、耐刮性大幅提高,减少灰尘或微粒的发生,且进一步可减少硫离子、氯离子、钠离子、铵离子及钾离子等有害气体的释出,以防止光罩表面产生雾霾的现象,避免在后续工艺中产生不良品。 | ||
搜索关键词: | 传送 | ||
【主权项】:
一种光罩传送盒,其特征在于,至少包含有一底座及一壳罩,且壳罩与底座可相对盖合形成一容置光罩的存放空间;其中底座上设有一供承托一光罩的支撑组,而壳罩内设有一导压组,导压组与支撑组相对限制导正光罩于光罩传送盒的存放空间内。
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