[实用新型]一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚有效
| 申请号： | 201320325065.4 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203333813U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 白剑铭 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 贺小明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，包括多个石墨埚瓣，所述石墨埚瓣内侧壁上设置有排气槽，本实用新型在石墨埚瓣上设置排气槽，且相邻的两个石墨锅瓣之间具有间隙。石英埚变软过程中，位于石英埚和石墨埚之间的气体可以随时从排气槽排出，避免了由于气体无法排出引起的石英埚“鼓包”，从而保证了单晶炉的稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排气 单晶炉热场 石墨 | ||
【主权项】：
一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，其特征在于，包括多个石墨埚瓣，所述石墨埚瓣内侧壁上设置有排气槽，且相邻的两个石墨锅瓣之间具有间隙。
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